气密性试验方法(真空舱法)
试验原理与方法
1试验原理
将组合阀门与增压管路连接,置于真空舱体中。测试时,将组合阀门用纯氦气加压至试验压力,当组合阀门存在泄漏时,氦气进入真空舱并被吸入检漏仪,检漏仪显示出漏率。
C.2试验装置、设备和仪器
试验装置、设备和仪器应满足以下要求。
a) 检漏仪应采用氦质谱检漏仪，氦质谱检漏仪应满足GB/T 13979的技术要求。
b)标准漏孔应选择薄膜渗氦型标准漏孔，标准漏孔漏率Q应不大于1×10-7 Pa·m3/s。.
c)真空舱容积应与组合阀门尺寸相适应,真空舱内表面应进行电化学抛光处理。
d)检漏系统校准完毕后,试验装置应具备直接显示系统有效最小可检漏率的功能。
e) 试验装置应能自动、准确、实时地显示、记录和保存包括时间、压力和泄漏率等在内的试验数据,根据采集的泄漏率和时间数据，自动绘制时间、压力、泄漏率曲线图。时间、压力、泄漏率的数据采集频率不低于3次/s。实时存储的所有原始试验记录应不可更改。
氦泄漏检测
C.4.3.1保持标准漏孔前端阀门关闭,启动检漏仪,待氦质谱检漏仪读数稳定时记录背景读数Ms。当M1×S1≤Q时,继续测试。
C.4.3.2用氦气将组合阀门增压至试验压力,完成增压后需静置。
C.4.3.3完成静置后开始检测,达到检测时间ts后,记录仪器输出读数M。若输出信号不稳定,延长
检测时间至输出信号稳定。