气密性影响试验
按被试传感器型式的不同,使用下列方法之一进行气密性影响试验:
a)绝压和密封参考压力传感器
将被试传感器置于真空箱内,接上测试记录仪器。当真空度达到规定值并保持恒定时,记下传感器的零点输出。在此状态下,保持规定时间,再记下零点输出,其零点输出变化所引起的误差应符合传感器详细规范规定的要求。
b)单向和双向差压传感器:
将传感器的“高”、“低"压两端并接与标准气压表相连组合后再通过一个真空阀门与真空泵连接组成系统,并将整个系统抽空到规定的压力值,关闭真空阀门切断真空源。在规定的时间内,观察标准气压表压力示值,其变化量应不超过规定值(Pa),亦可将真空泵和真空阀换成一正压力源,向传感器“高”、“低”压腔加压至规定值,并将传感器侵入液体介质(如水)中,在规定的时间内不应有可见的气泡逸出。
c) 真空氮质谱检漏:
将传感器感压腔室与氮质谱检漏仪检测口相连,直接检测传感器感压腔的泄漏率,其值应符合传感器详细规范规定的要求