（1）高真空机组（一般采用油扩散泵、罗茨泵、机械泵），能够对焊接绝热气瓶的夹层抽真空，并且能保证系统真空度在10Pa以内，其中油扩散泵、罗茨泵、机械泵的性能至少达到以下要求：
①罗茨泵，极限全压力为0．75Pa，极限压力为3x10Pa，几何抽速为150L／s；
②机械泵，极限压力为6×102Pa，极限全压力为1Pa，抽气速率为30L／s
③油扩散泵，抽气速率为2000L/s，极限压力为7x10°Pa，最大排气压力为40Pa
（2）用于静态蒸发率测试的质量流量计及质量流量控制器能够实时显示瞬时流量和累计流量，精度等级至少为±1.5F.S；
（3）用于夹层真空度测试的真空规管必须采用金属规管，真空规管测量范围至少为105pa~5*10-7pa
（4）氨质谱检漏仪，最小可检漏率至少达到102Pam3/s。

压力单位的换算关系MPa，kPa，bar，psi

水压与气压的压缩率关系

水压试验与气压试验的区别